簡介

制程片PL檢測模組可應用于制絨、擴散、刻蝕、PECVD工藝后，對過程片進行缺陷檢測。

可安裝于刻蝕上料、PECVD下料、絲網上料處以及離線設備，結合客戶端現有設備實現剔除。

采用了特殊定制相機和神經網絡算法相結合，可快速、準確地檢測出缺陷，檢測速率大大提升。

采用非接觸式的檢測方式，大大降低了在生產電池片各個工藝過程中的碎片率，是分析工藝問題、提高成品率、降低成本必不可少的視覺檢測設備。為產品質量提供了完全可靠的保障。

                         過程片

產品特性

產能大于4500片/小時

兼容多尺寸片源，更換尺寸無需更換硬件，降低人力及耗材成本

無接觸式檢測，不會對過程片造成二次損傷

提前篩選出問題片，節約制造成本                                                                            

自動統計各類缺陷、良品數量及比例

適用于制絨、蝕刻、擴散、PECVD等多種工序

技術指標

缺陷對比圖