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電池片EPL模組硅錠PL設備原硅片PL模組制程片PL模組電池片EL模組硅片隱裂模組

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電池片EPL模組

應用于燒結后電池片缺陷檢測

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可應用于燒結后電池片缺陷檢測。安裝于燒結后：及時發現電池缺陷，防止連續缺陷產生。安裝于效率分選前：無接觸檢測電池缺陷，替代或補充EL檢測。
硅錠PL設備

用于硅錠質量的檢測

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硅錠的質量決定了最終制成電池片的最大效率，通過評估硅錠PL圖像中絨絲占比與黑斑占比等條件，可預測出硅錠效率參考值；通過硅錠評估測試結果，可以協助優化生產工藝。
原硅片PL模組

應用于多晶、單晶、類單晶硅片缺陷的檢測

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原硅片PL檢測模組可將原硅片中肉眼不可以見的缺陷檢測出，同時兼容多晶、單晶、類單晶硅片。可針對于單晶、多晶、類單晶硅片的位錯、絨絲、晶界等缺陷檢出。此模組為標準模組，可集成于硅片分選機、制絨上料機，達到控制產品質量、節約制造成本的目的。

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